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光学关键尺寸量测设备
NKShape 288
NKShape 288
NKShape 288
软件和算法100%自研,自主可控;
采⽤最新算法框架和⽮量数据库以及并⾏计算技术;
更快的建模计算速度,更快的library生成速度,快速响应客户研发阶段的工艺变化;
国内供应零部件达到90%以上;
优秀的静态、动态精确性以及长期稳定性;
适用于55nm-7nm的2D planar gate以及3D FinFET结构的关键参数及形貌量测;
同样适用于DRAM和VNAND三维结构关键参数及形貌量测。
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