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光学膜厚测量设备
NKFilm 288
NKFilm 288
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软件和算法100%自研,自主可控;
采用最新算法框架和矢量数据库;
自研Advanced dispersion模型库;
国内供应零部件达到90%以上;
优秀的静态、动态精确性以及长期稳定性;
高端应用包括FinFET HKMG, DRAM ZAZ, 3D-NAND ONON, OPOP等;
拓展应用包括成份分析、应力量测、bandgap量测。
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